几种扫描电镜sem的比较-实亿国际

几种扫描电镜sem的比较

光镜（OM）的出现，开辟了微观视野。1939年德国人B.Borris和E.Ruska推出第一台商业透射电镜（TEM)，分辨率提高到亚微米范围。透射电镜与光镜有许多类同之处，例如：光源、分辨率、放大倍率、透镜、像差、衍射等光学术语均通用。两者之间的差异有几个方面，透射电镜是利用高能短波长电子束照明样品代替光镜使用的可见光，扫描电镜sem利用电磁透镜组合构成电子光学成像系统，现代透射电镜放大倍率可高达数十万倍，分辨率优于0.2nm。到20世纪60年代，第一台商用扫描电镜（SEM）由英国Cambridge科学仪器公司推出。如图所示，荧光显示屏6英寸，分辨率50nm，电子系统全部使用电子管，其成像原理与上述两种系统不同。图为三种显微镜的光路系统。

实验室中常用的光镜，例如：金相或双目体视显微镜，虽然可以观察大块样品，但分辨率、放大倍率和景深都较低。透射电镜分辨率高，但样品制备要求苛刻，使其在应用上受到较大的限制。扫描电镜sem功能齐全，使用方便，弥补了光学显微镜和透射电镜的不足，又兼有两者的优点，在各领域和多学科中获得广泛应用。扫描电镜sem利用精细聚焦电子束照射在样品表面，该电子束可以是静止或在样品表面作光栅扫描。在这个过程中，电子束与样品相互作用产生各种信号，其中包括二次电子、背散射电子、俄歇电子、特征X射线和不同能量的光子等，这些信号来自样品中的特定区域，分别利用探测器接收，可以提供样品的各种信息，用于研究材料的微观形貌、晶体学特征和微区化学成分。