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集成微透镜阵列的CMOS传感器

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集成微透镜阵列的CMOS传感器分析
时间:2010-02-08 10:47来源:富驲光电作者: 技术部点击:次打印
1. 摘要

在最近的几十年里,COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。  
 
2. 建模任务
 
采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
 


采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
 
 
3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真)

  
4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真)

 
5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真)

 
6. 3D仿真与结果对比

 
7. 走进VirtualLab Fusion

 
8. VirtualLab Fusion的工作流程

构造光栅结构
- Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [应用案例]
- Configuration of Grating Structures by Using Special Media. [应用案例]
计算光栅结构内部的场分布

 
9. VirtualLab Fusion技术
 


10. 文件信息

 
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